2014-09-09
摘要：2X型真空泵是抽除氣體的基本設備之一，它可單獨使用，也可與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級泵使用，廣泛用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實驗室裝備等。2X型真空泵特點拆箱安裝使用說明維護保養 一、2X型真空泵特點 1、2X型真空泵是抽除氣體的基本設備之一，它可單獨使用，也可與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級泵使用，廣泛用于電子器件制造、真空干燥、過濾、浸漬、涂膜、焊接、冶煉及實驗室裝備等。 2、2X型真空泵在環境溫度5℃～40℃范圍內，進氣口壓強小于10托的條件下，允許長期運轉，被抽氣體相對溫度大于90%時，應開氣鎮閥?！ ?、2X型真空泵進氣口連續敝通大氣運轉不得超過3分鐘. 4、2X型真空泵不適用于抽除對金屬有腐蝕的、對泵油起化學反應的、含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高的、爆炸性的、有毒的氣體?！ 《?、2X型真空泵的拆箱安裝： 拆箱后小心取出旋片真空泵體、備附件及說明書并保管好作日后備用
2014-09-09
靠偏置葉輪在泵腔內回轉運動使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉液環和葉輪構成?其結構和工作原理與液環壓縮機相似。工作時吸氣口接被抽真空容器。泵腔內如充的是水則稱為水環真空泵。水環真空泵結構簡單?制造容易?工作可靠?使用方便?耐久性強?可抽除腐蝕性?含塵氣體和氣水混合物。被抽氣體溫度以-2040℃為宜。循環水不應含有雜質。水環真空泵的抽氣速率范圍為0.25~500米3/小時?極限壓力?單極泵為8×103~2×103帕?雙級泵為2×103~1×102帕。水環真空泵主要用于真空蒸餾?真空干燥和水泵引水等方面。
2014-09-09
導讀：6到0.64SCFM，它可以在45psi(3.1bar)壓力下正常運行，所需壓力大約是普通文氏泵的一半?！ 〈丝?em class="s-key">泵是由陽極氧化鋁制成的，具有黃銅管口，并且此產品可供選擇的范圍很廣泛，可以滿足具體的需求。他們非常適用于自動化操作的需求。Anver說，次泵可以提供100%負載系數，相當于大很多的泵的運行效果，而且和傳統的文氏管泵相比更加安全，噪音更少。他們的體積大小為3.78inLx1.26in... 系列緊密簡潔多級文氏管真空泵已經在美國真空泵專業廠家AnverCorp.研制成功。它僅需要45psi的氣壓，但是可以提供以往需要80to100psi的泵一樣的容積。 該公司介紹，Anver的Air-MiserMSP-AM系列多級氣動真空泵現在有五種型號可供選擇，從0.06到0.64SCFM，它可以在45psi(3.1bar)壓力下正常運行，所需壓力大約是普通文氏泵的一半?！ 〈丝?em class="s-key">泵是由陽極氧化鋁制成的，具有黃銅管口，并且此產品可供選擇的范圍很廣泛，可以滿足具體的需求。他們非常適用于自動化操作的需求。Anver說，次泵可以提供100%負載系數，相當于大很多的泵的運行效果，而且和傳統的
2014-09-09
旋片式真空泵是利用轉子和可在轉子槽內滑動的旋片的旋轉運動以獲得真空的一種變容機械真空泵。當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙,分隔排氣閥和大氣時,即為通常所稱的油封旋片真空泵。無工作液時,即為干式旋片式真空泵,將另頁介紹。在油封旋片真空泵中,國內習慣上稱皮帶傳動的為旋片式真空泵,而把泵與電機直接連接或用聯軸器連接的稱為直聯旋片真空泵。在每種泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的結構形式和參數不同,泵的極限壓力和用途也不同。它們的共同特點是結構較簡單,使用方便,能從大氣壓力下起動,可直接排人大氣,偏心質量較小,維護簡便,雙級泵的極限壓力為6×10-2~l×10-2pa,一種單級泵可達4pa左右,另一種單級泵為50~200pa左右。自1909年蓋德(w.gaede)發明旋片泵并取得德國專利,1936年又發明氣鎮泵,1941年取得專利以來,旋片式真空泵得到廣泛應用和不斷完善。60年代末,國際上出現了提高轉速,直聯的小型化趨勢,70年代初出現了直聯系列產品,到80年代初,又推出了改進的系列產品,有多種可供用戶選配的附件,可以保護泵,或保護環境,泵本身結構也有改
2014-09-08
往復真空泵pistonvacuumpump靠活塞往復運動使泵腔(氣缸)的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵,又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時,吸氣管接被抽真空容器,排氣管直通大氣。往復真空泵抽氣量較大,抽氣速率范圍為每小時45~20000立方米,單級泵極限壓力約為103帕,雙級泵可達1帕。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器,可抽除含水蒸汽的氣體;若安裝過濾器,則可抽除含塵氣體。
2014-09-08
水環真空泵按不同結構可分成如下幾種類型:單級單作用水環泵單級是指只有一個葉輪,單作用是指葉輪每旋轉一周,吸氣、排氣各進行一次。這種泵的極限真空較高,但抽速和效率較低。單級雙作用水環泵單級是指只有一個葉輪,雙作用是指葉輪每旋轉一周,吸氣、排氣各進行二次。在相同的抽速條件下,雙作用水環泵比單作用水環泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對稱分布于泵輪轂兩側,改善了作用在轉子上的載荷。此種泵的抽速較大,效率也較高,但極限真空較低。雙級水環真空泵大多是單作用泵串聯而成。實質上是兩個單級單作用的水環泵的葉輪共用一根心軸聯接而成。它的主要特點是在較高真空度下,仍然具有較大的抽速,而且工作狀況穩定。大氣水環泵實際是大氣噴射器串聯水環泵的機組。水環泵前面串聯大氣泵是為了提高極限真空,擴大泵的使用范圍。水環真空泵和其它類型的機械真空泵相比有以下優點:結構簡單,制造精度要求不高,容易加工。操作簡單,維修方便。結構緊湊,泵一般與電動機直聯,轉數較高。用較小的結構尺寸,可以獲得較大的排氣量。泵腔內沒有金屬摩擦表面,無須對泵內進行潤滑。轉動件和固定件之間密封可直接由水封來完成。泵腔內壓縮氣體過程溫度變化很小,可認為是
2014-09-08
真空泵工作原理 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵?！ ?em class="s-key">真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機
2014-09-08
1.檢查立申真空泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動真空泵,試看真空泵是否靈活。2.向真空泵軸承體內加入軸承潤滑機油,觀察油位應在油標的中心線處,潤滑油應及時更換或補充。3.擰下真空泵泵體的引水螺塞,灌注引水或引漿。4.關好真空泵出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。5.點動真空泵電機,試看電機轉向是否正確6.開動電機,當真空泵正常運轉后,打開出口壓力表和進口真空泵,視其顯示出適當壓力后,逐漸打開閘閥,同時檢查電機負荷情況。7.盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內,以保證真空泵在最高效率點運轉,才能獲得最大的節能效果。8.真空泵在運行過程中,軸承溫度不能超過環境溫度35℃,最高溫度不得超過80℃。9.如發現立申真空泵有異常聲音應立即停車檢查原因。10.真空泵要停止使用時,先關閉閘閥、壓力表,然后停止電機。11.真空泵在工作第一個月內,經100小時更換潤滑油,以后每個500小時,換油一次。12.經常調整填料壓蓋,保證填料室內的滴漏情況正常以成滴漏出為宜.。13.定期檢查真空泵軸套的磨損情況,磨損較大后應及時更換。14.立申真空泵在寒冬季節使用時,停車后,需將泵體下部放水螺塞擰
2014-09-08
1、CG-17玻璃三級高真空油擴散泵及其工作原理GG－17玻璃膨脹系數低，能更好地耐受很高的溫度差變，故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業，如電子管。顯象管。X光管，以及半導體單晶硅的冶煉提純，高沸點的油脂蒸餾提純分離，日光燈，保溫瓶高真空排氣的儀器。工作原理：先由轉動真空泵把系統抽到10～2Pa擴散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統內氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結,待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空.2、水環式真空泵/液環真空泵工作原理 水環真空泵(簡稱水環泵)是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000～4000Pa，串聯大氣噴射器可達270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機，稱為水環式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1～2×105Pa表壓力。水環泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發展，水
2014-09-08
水環泵最初用作自吸水泵。是由葉輪、泵體、吸排氣盤、水在泵體內壁形成的水環、吸氣口、排氣口、輔助排氣閥等組成的。我公司在工業生產的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術的飛躍發展,水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環泵應用日益增多。水環式真空泵,一般來說所用的工作液都是水。作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體,這樣就造成了水環的溫度升高。水環的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水,以使水環泵的工作溫度能夠維持恒定。在多數的水環式真空泵中,其工作溫度約為15-20℃,它取決于所補充水的溫度。濕度傳感器探頭,,不銹鋼電熱管pt100傳感器,,鑄鋁加熱器,加熱圈流體電磁閥實際上,水環泵的極限壓力并不十分重要,因為不同的液體,在壓力低于50-60hpa時,會發生氣蝕現象,泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時,抽速很低,泵入口處的水開始沸騰
2014-09-08
水環式真空泵,一般來說所用的工作液都是水。作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體,這樣就造成了水環的溫度升高。水環的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水,以使水環泵的工作溫度能夠維持恒定。在多數的水環式真空泵中,其工作溫度約為15-20℃,它取決于所補充水的溫度。濕度傳感器探頭,,不銹鋼電熱管pt100傳感器,,鑄鋁加熱器,加熱圈流體電磁閥。實際上,水環泵的極限壓力并不十分重要,因為不同的液體,在壓力低于50-60hpa時,會發生氣蝕現象,泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時,抽速很低,泵入口處的水開始沸騰。當轉至泵的出口時,形成的氣泡開始破裂。這樣就會產生很大的噪聲,同時泵的驅動輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現象通常稱作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發生,就要通過小閥引入少量的新鮮空氣。在這種情況下,在入口官道上開個小孔,以便定量地加入些新鮮的其他,如果使用氣體噴射器,氣蝕現象就不會產生了。單級水環泵只適于入口壓力為130-1013kpa的壓力范圍,壓縮比為1:7。若入口壓力低于130kpa時,推薦使用雙級水環泵。在雙級泵
2014-09-08
水環式真空泵,一般來說所用的工作液都是水。作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體,這樣就造成了水環的溫度升高。水環的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水,以使水環泵的工作溫度能夠維持恒定。在多數的水環式真空泵中,其工作溫度約為15-20℃,它取決于所補充水的溫度。實際上,水環泵的極限壓力并不十分重要,因為不同的液體,在壓力低于50-60hpa時,會發生氣蝕現象,泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時,抽速很低,泵入口處的水開始沸騰。當轉至泵的出口時,形成的氣泡開始破裂。這樣就會產生很大的噪聲,同時泵的驅動輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現象通常稱作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發生,就要通過小閥引入少量的新鮮空氣。在這種情況下,在入口官道上開個小孔,以便定量地加入些新鮮的其他,如果使用氣體噴射器,氣蝕現象就不會產生了。單級水環泵只適于入口壓力為130-1013kpa的壓力范圍,壓縮比為1:7。若入口壓力低于130kpa時,推薦使用雙級水環泵。在雙級泵中兩個泵腔串聯接通,工作腔容積比約為2.5:1。雙級水環泵的極限壓力取決于水的蒸
2014-09-08
羅茨泵的抽氣速率和極限壓力是泵的主要性能,但它在很大程度上要依賴于前級泵的型式和性能,因此它并不是羅茨泵本身特有的性能。能代表羅茨泵特征性能,而又與前級泵無關的是零流量壓縮比、最大允許壓差與溢流閥壓差、漏率和噪聲,它們與羅茨泵的真空狀態、抽氣性能和運行質量有著極其密切的關系。文中對特征性能的試驗方法和裝置進行了分析和研究,提出了有異于國內外現行標準的,更精粹、獨特的見解。抽氣速率和極限壓力是羅茨泵的主要性能參數,但它不是羅茨泵本身特有的性能參數,而是羅茨泵和各種前級泵所組成的機組的性能參數。真正能反映羅茨泵特征性能,而又與前級泵無關的性能參數是零流量壓縮比、最大允許壓差與溢流閥壓差、漏率和噪聲。它們能真實反映羅茨泵的真空狀態、抽氣性能和運轉的可靠性、穩定性。氣冷式羅茨泵可以單臺直排大氣,這與普通羅茨泵有所區別,但由于消耗功率較大,一般均采用多臺串聯或以其它泵作前級,組成多級羅茨機組,此時氣冷式羅茨泵成了機組的主泵,它的運轉狀態就與普通羅茨泵相同了。目前國內外有關羅茨泵的試驗(驗收)標準尚有不少不明之處和不足之處,有望通過試驗、對比和分析,提出新的見解。1、零流量壓縮比k0測試和研究1.
2014-09-08
如果所抽氣體中含有固體顆粒,又想選擇旋片式真空泵的話,需要在旋片泵的進氣口管路中連接上一個過濾器,這樣可以有效的防止旋片泵因為顆粒物質導致真空度下降的問題,需要注意的是過濾器的合理選擇以及在使用過程中對過濾器的清潔。如果旋片式真空泵所抽氣體含有水蒸氣,在不考慮選擇水環泵或者真空機組的情況下可以選擇旋片泵,但是需要在旋片泵的進氣口接通一個冷凝器,從而使水蒸氣能夠冷卻變成水,然后進入泵內從而達到抽真空的目的。但是需要注意的一點是,因為冷凝器沒辦法把全部的水蒸氣液化掉,所以在使用旋片泵的時候需要注意真空泵油的變化,如果發現真空泵油發生質變或者渾濁或者乳化現象,應及時更換真空泵油,這樣才能保證旋片泵在工作的時候達到所要求的真空度,不然真空度會降低,甚至損壞真空泵。如果所抽氣體中含有固體顆粒,又想選擇旋片式真空泵的話,需要在旋片泵的進氣口管路中連接上一個過濾器,這樣可以有效的防止旋片泵因為顆粒物質導致真空度下降的問題,需要注意的是過濾器的合理選擇以及在使用過程中對過濾器的清潔。旋片式真空泵不能抽除含氧過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕黑色金屬的和對真空油起化學作用的各種氣體,也不可做為壓縮機和輸送泵
2014-09-08
水環式真空泵使用須知水環式真空泵,一般來說所用的工作液都是水。作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體,這樣就造成了水環的溫度升高。水環的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水,以使水環泵的工作溫度能夠維持恒定。在多數的水環式真空泵中,其工作溫度約為15-20℃,它取決于所補充水的溫度。實際上,水環泵的極限壓力并不十分重要,因為不同的液體,在壓力低于50-60hpa時,會發生氣蝕現象,泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時,抽速很低,泵入口處的水開始沸騰。當轉至泵的出口時,形成的氣泡開始破裂。這樣就會產生很大的噪聲,同時泵的驅動輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現象通常稱作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發生,就要通過小閥引入少量的新鮮空氣。在這種情況下,在入口官道上開個小孔,以便定量地加入些新鮮的其他,如果使用氣體噴射器,氣蝕現象就不會產生了。單級水環泵只適于入口壓力為130-1013kpa的壓力范圍,壓縮比為1:7。若入口壓力低于130kpa時,推薦使用雙級水環泵。在雙級泵中兩個泵腔串聯接通,工作腔容積比約為2.5:1。雙級水環泵的
2014-09-08
無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。目前，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊?em class="s-key">泵油中，而希望微粒
2014-09-08
1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmhg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmhg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmhg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmhg下長期工作。3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合
2014-09-08
真空泵的選擇：1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的
2014-09-08
1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合
2014-09-08
“滑閥式真空泵的抽氣原理與片泵相似，當兩者結構不同?；y式真空泵是利用滑閥機構來改變西氣腔容積的，故稱華發泵。”華發泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高(104pa)、抽氣量大、能在惡劣環境下連續工作，經久耐用等突出特點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業得到廣泛的應用。目前真空行業中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的選片泵和中、大型的華發泵。旋片泵在較臟的工作條件下，旋片泵在轉子槽中卡住。盡管華發泵對這一缺點有一定程度的克服，但由于滑閥的質心相對回轉中心的距離不是定值，雖然結構上采取了一些平衡措施，但尚不能達到完全平衡，故振動難以完成消除。尤其泵的容量越大，振動亦更大。同時上述兩種泵，特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。????
