微型真空泵屬于薄膜泵，它的原理是電機帶動薄膜往復運動，使泵腔容積周期性變化從而吸入、排出流體。微型真空泵避免了活塞式真空泵活塞磨損、污染輸送介質的缺點，運動機構與輸送介質完全隔離、對介質無污染;非動密封，無泄漏;可靠性好;效率高;體積小、重量輕;具有自吸能力;不怕空轉;無需潤滑保養;自身噪音低。作為微型真空水泵使用時，無需灌泵，既能抽氣又能抽水，無水時不怕干轉。微型真空泵的優點尤其是無污染性、自吸性使它在儀器儀表行業得到了廣泛運用。以“氣海”泵為代表的我國高端微型真空泵質量已經可以與國際名牌產品媲美。最新的使用無刷電機的“氣海”調速泵可利用PWM(脈寬調制)線靈活地調節流量，能輸出轉速反饋信號，更是微型泵自動控制方式的突破。

　　我們在試驗中運用了多種狀態監測、診斷儀器。根據所采集的各種信號，繪制出工作曲線圖，做出性能評估報告。特別是氣海的微型泵有FG反饋信號，這非常有利于我們的監測。根據不同參數和精度的差異，選擇不同的測量方法和工具，儀器。在泵的出口安裝流量、壓力儀表，繪制出氣路系統的壓力-流量、效率曲線圖。氣路系統的效率下降到一定程度時就可以判斷為失效。效率參數經微型計算機分析處理，可以較快的判斷氣路系統的工作情況。

　　除泵體本身以外，電機也是導致泵失效的主要因素。不同于市場上型號繁多的低端微型泵，高端的微型泵對電機的性能要求很高。試驗中需要監測電機的轉速、電流等參數。試驗是使電機在極端工況下高速連續運轉。過去的微型泵配置有刷電機，有刷電機的電刷摩擦大、損耗大。電刷和換向器的接觸電阻大，造成電機整體電阻較大，使電機性能下降，影響泵和電機的壽命?！皻夂！笨烧{速微型泵配置的無刷電機最直接的變化就是沒有了電刷產生的電火花，極大減少了電火花對設備的干擾，運轉時摩擦力也大大減小，運行順暢，噪音會低許多，很適合要求較高的設備。無刷電機少了電刷，磨損主要是在軸承上?？烧{速微型泵設計具有自我保護功能，在電機溫度超過限定時能自動停機，大大提升了泵和電機的安全性。用戶在同時使用多臺微型真空泵時，如果其中有一臺泵壓力、流量下降時，對整個系統的影響不一定能很快發現。使用“氣?！蓖暾嬲{速微型泵后，泵自身能輸出轉速信號，可以很方便地監測泵的轉速，及時發現問題。