? ? ? 大多數的耐腐蝕磁力泵 ( 除直排大氣羅茨泵以外 ) 都需與前級泵組合成羅茨泵耐腐蝕磁力泵組應用于各個范疇。依據用處不同,羅茨泵機組常用的前級泵有旋片泵、滑閥泵、水環泵等。 羅茨泵與各種前級耐腐蝕磁力泵組合后的耐腐蝕磁力泵組抽速能夠經過計算求出,在以下計算中疏忽前級銜接管路的流阻影響。
? ? ? 羅茨泵工作時的有效氣體流量為: Qe = Qth - Qv ( 5.2 ) 式中 Qe ──羅茨泵的有效流量; Pa · L/s Qth──羅茨泵的幾何流量, Qth = PA · Sth Qv 一羅茨泵的走漏返流流量 Qv =Qv1 + Qv2 Qv1 為由于羅茨泵轉子之間及轉子與泵殼之間的間隙而形成的氣體返流量, Qv1 可用下式表達: Qv1 = U ( Pv - PA ) (5.3) 式中 U ──羅茨泵內上述一切間隙的等效通導 Pv ──羅茨泵排氣壓力 ( 泵前級壓力 ) PA ──羅茨泵吸入壓力 Qv2 為羅茨泵轉子在高壓排氣側吸附及攜帶返回低壓吸入側的氣體量,稱返擴散氣體量,所以有: Qv2 = Sr · Pv (5.4) 式中 Sr ──泵返擴散氣體的等量抽速。 于是式 (5.2) 可表達成: Qe = Qth - (Qv1 + Qv2) = PA · Sth - [ U (Pv - PA) + Sr Pv ] (5.5) 如何確定耐腐蝕磁力泵組的抽速,依據羅茨泵零流量緊縮比 K0 定義:關閉泵進氣管路,氣體流量為零時,前級真空管路中壓力與泵入口壓力之比為零流量緊縮比 K0 =Pv /PA , 該緊縮比的最大值用 K0max 表示,稱最大零流量緊縮比。令 (5.5) 式中 Qe 等于零 ( 實測中用肓板將泵進氣口法蘭堵死 ) 則有 PASth - [ U (Pv - PA) + Sr Pv ] = 0(5.6)