簡單得說:功率大,極限真空高(負壓極高),有的甚至可以做到10負幾次方pa,非常接近理論真空了。抽氣速率大,通常以“l/s”作為單位。工業上有非常廣泛的應用。缺點:價格高昂、體積大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期維護,不易移動等。有的大型真空齒輪泵必須使用真空齒輪泵油或潤滑油,工作中會產生油霧,對工作介質有污染……

以上缺點在某些場合特別明顯,如大型真空齒輪泵雖然真空度高,但在低真空場合反而浪費,像實驗室,只是需要泵對少量氣體進行抽氣、氣體采樣、氣體分析、氣體循環、真空吸附、氣體轉移、增壓、間接吸水、排水等時,用大型真空齒輪泵反而暴露出它的很多缺點。這個時候用微型真空齒輪泵,粗真空(真空度較低)就可以滿足,而且體積小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于攜帶、免維護、可24小時連續運轉,還允許介質富含水汽。

最重要的是,因為是干式、無油的,不需要真空齒輪泵油或潤滑油,所以不會污染工作介質,不會干擾對介質的分析等等。而且價格相對便宜得多。現在,隨著微型真空齒輪泵在各個領域的廣泛應用以及真空技術的提高,微型真空齒輪泵的性能也不斷提升,比如有一款高負壓微型真空齒輪泵vch1028的極限真空度甚至可以達到0.01mpa(10kpa),即負壓約-0.09mpa;抽氣速率最大可達:28l/min;還有能同時抽氣、打氣兩用的微型真空齒輪泵pcf5015n,負壓(-50kpa),最大輸出正壓(相對大氣壓)100kpa(約1公斤)。