#泵#分子泵的設計要點?
時間:2014-09-09
在復合分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構,以提高泵的抽氣性能。隨著復合分子泵的不斷改進,其應用領域越來越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環境。
在復合分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構,以提高泵的抽氣性能。隨著復合分子泵的不斷改進,其應用領域越來越廣,在某些抽氣系統上可以替代擴散泵,縮短了系統的抽氣時間,并可獲得無油污染的清潔真空環境。