首先檢查真空容器所處狀態，處于真空下或者處于大氣中。決定了兩種啟動真空設備的程序：第一種，真空下操作程序。第二種，大氣狀態下操作程序。

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注意：第一次啟動要先打開ESP—A總控電源，總控電源上面三個燈表示三相電，三燈全亮表示正常。

1、如果容器處于低真空狀態下，不能立即打開閘板閥以免引起真空油的回流。正確的操作步驟是先打開水龍頭，然后打開機械泵(注：按下機械泵的啟動鍵)，同時打開ZDF—IV真空計電源，觀察真空計讀數到達30Pa左右時，再打開分子泵(注：先按下FDK—600K總電源，然后按下啟動鍵)，看到分子泵的工作頻率達到50Hz左右時方可打開閘板閥。

2、如果容器處于大氣下，首先要做的是檢查大漏，即關閉容器大門和放氣閥。然后打開水龍頭，閘板閥，機械泵，ZDF—IV真空計電源，觀察真空計讀數到達30Pa左右時，再打開分子泵(注：先按下FDK—600K總電源，然后按下啟動鍵)。

3、等到分子泵正常工作后(工作頻率穩定在450Hz)，按下真空計中電離計單元的啟動鍵對真空度進行觀測。

4、在真空達到5410~10??Pa時可以打開離子泵，此時先關閉分子泵處的閘板閥，但不要關閉分子泵，等到離子泵的電壓達到4000V時(離子泵穩定工作后)再關掉分子泵，機械泵。

5、如果不需要維持真空時，先關掉真空計電源，后只需要把離子泵的閘板閥關閉即可，不關閉離子泵，而是讓離子泵處于工作狀態保持其內部環境。(注意：烘烤與離子泵不能同時打開，烘烤的目的是為了讓離子泵更好的工作，需要時可先烘烤，關閉烘烤后在打開離子泵開關。一般不需要打開烘烤。)

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1檢查真空泵油位：1/2~~2/3，吸排氣管中要干凈，試機時要有很強的吸排氣壓力，

2檢查復合壓力表：表閥要好，管無破裂，以免漏氣，有頂針，有密封墊。

3接管：把藍色低壓管接到系統檢修口，把黃色管接到真空泵吸氣口，關高壓閥。

4抽真空：啟動真空泵，打開低壓閥，抽真空時間一般30分鐘以上，當系統真空度達到76cmhg（表壓）后，關閥關磅

5打壓：抱怨大于24小時，前6小時允許有2％的壓力變化，之后不允許有任何變化！