安徽單晶爐滑閥真空泵的簡介-技術中心-中聯機械知識
時間:2014-09-09
目前國內單晶爐、多晶爐配用真空泵以滑閥真空泵2H120、滑閥真空泵2H150、滑閥真空泵2H70居多。
目前國內單晶爐、多晶爐配用真空泵以滑閥真空泵2H120、滑閥真空泵2H150、滑閥真空泵2H70居多。
其中清理單晶爐仍然使用水環真空泵2SK-6B型號。多晶硅爐配套真空泵可根據用戶情況定制各類真空機組。
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單晶爐滑閥真空泵2H70主要性能參數:極限真空:6X10-2 抽氣速率:70L/S 配用功率:7.5KW 進氣口徑80mm 排氣口徑76mm
水環真空泵2SK-6B主要性能參數:極限真空:3300Pa 抽氣速率:6m3/min 進排氣口徑:50mm 配用功率:11KW