摘要：真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。

真空泵選型注意事項及水環式真空泵的選擇真空泵一覽表

一、真空泵選型注意事項：

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于110-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

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4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵的價格、運轉及維修費用。

二、水環式真空泵的選擇

1、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時，需要注意以下兩個方面：盡可能要求在高效區內，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行。應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區域內運行，不僅效率極低，而且工作很不穩定，易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區域之內運行，往往還會發生汽蝕現象，產生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據以上原則，當泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優先在單級泵中選取。

如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。

如果真空度要求在-710mmHg以上，可選用水環-大氣泵或水環-羅茨真空機組作為抽真空裝置。F2、據系統所需的氣量選擇真空泵)

初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據系統所需的氣量來選用泵的型號。

關于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照有關公司網頁真空計算公式。面對各種型式的水環式真空泵及壓縮機，我們特將其各自特點收集如下，以利于用戶選型：

三、真空泵一覽表

名稱型號抽氣速率L/s極限真空Pa配用功率kW旋片真空泵

2X(Z)型旋片式真空泵0.5～70610-20.55～5.5

XD、X單級旋片真空泵2.8～150210-20.37～15X型單級旋片真空泵30～15064～11往復真空泵W型往復真空泵32～30020004～3055～60020005.5～45

羅茨真空泵ZJ型羅茨真空泵30～5000510-20.75～5570～3000510-21.1～30

滑閥真空泵H型滑閥真空泵8～60011.1～5570～60017.5～552H型滑閥真空泵8～1500.14～15液環真空泵

2BE1、CBF水環式真空泵2～450m3/min3.31037.5～7102

BE1型雙級水環式真空泵5～320m3/min3.310311～3802

BV型水環式真空泵0.3～8.3m3/min3.31030.81～152

SK型雙級水環式真空泵0.4～30m3/min3.51032.2～55

S、SK型水環式真空泵0.67～25m3/min(3.5～4)1031.5～55

SK型水環式真空泵0.4～120m3/min(8～15)1031.1～185

SZ、SK型水環式真空泵1.5～27m3/min(5～14)1035.5～75

SK、2YK型水環式真空泵5～280m3/min(5～14)10422～380

FSK型水環式真空泵3～9m3/min(5～14)1037.5～

22YL型液環式真空泵5～25m3/min910430～132

真空泵機組JZJ型羅茨、旋片真空泵機組30～1200(1～5)10-21.3～26

JZJ1型羅茨、旋片真空泵機組70～1200(5～10)10-24.3～22.5J

ZJS型羅茨、水環真空泵機組70～60025～6507～39.5

JZJ1S型羅茨、水環真空泵機組150～60025～6509.7～24.7

JZJH型羅茨、滑閥真空泵機組300～120010-111.5～262

BW4型水環真空泵成套機組10～95m3/min10345～185