裝有滑片的偏置轉子在泵腔內作回轉運動?使由滑片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵?又稱滑片真空泵。圖旋片真空泵的工作原理為旋片真空泵的工作原理。
它主要由泵體(靜子)和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的滑片?有些泵滑片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內?其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉子旋轉時?在離心力等作用下?滑片沿槽作往復滑動并與泵腔內壁始終保持接觸?將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時?與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大?腔內氣體壓力降低?被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入(圖中a旋片真空泵的工作原理)。
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同時?與排氣口相通的排氣腔容積由大變小?吸入腔內的氣體被壓縮?待氣體壓力高于大氣壓力時?推開排氣閥排出大氣(圖中b旋片真空泵的工作原理)。轉子連續轉動?泵便不斷抽氣。
排氣閥浸在油里?油通過排氣閥和油孔進入泵腔?使泵腔內所有運動件的表面覆蓋一層油膜?密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙?防止氣體返流。這些油還能減少排氣腔內的有害空間?以消除它們對極限壓力的影響。
因此這種真空泵是一種油封式機械真空泵。隨著技術的發展?制造工藝的完善和優質材料的選用?小型滑片真空泵的轉軸可與電動機軸直聯?轉速可高達1450轉/分?大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量。
抽氣速率：3.5-168.3m3/min
真空度：-0.085~-0.098MPa
價格：0.59-16.5萬
抽氣速率：0.015-1.8m3/min
真空度：6.7×10-6MPa
價格：0.29-2.98萬
抽氣速率：2.417-24m3/min
真空度：0.01kPa
價格：1.15-10.8萬
抽氣速率：0.8-120m3/min
真空度：-0.089 ~ -0.097MPa
價格：0.21-2.15萬
