滑閥式真空泵的抽氣工作原理其實與片泵相似，當兩者泵結構不同的時候?！　』y式真空泵是主要利用滑閥機構來改變西氣腔容積，因而稱為華發泵?！被y式真空泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高(104pa)、抽氣量大、能在惡劣環境下連續工作，經久耐用等突出特點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業得到廣泛的應用?！　∧壳罢婵招袠I中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的選片泵和中、大型的滑閥式真空泵。旋片泵在較臟的工作條件下，旋片泵在轉子槽中卡住。盡管滑閥式真空泵對這一缺點有一定程度的克服，但由于滑閥的質心相對回轉中心的距離不是定值，雖然結構上采取了一些平衡措施，但尚不能達到完全平衡，故振動難以完成消除。尤其泵的容量越大，振動亦更大。同時上述兩種泵，特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。