當前渦輪分子泵的結構有立式v與臥式渦輪分子泵之分。入口的氣流與旋轉軸平行的渦輪分子泵屬于立式的;進入氣流垂直于旋轉軸中心的渦輪分子泵屬于臥式的。這種臥式泵,進入氣體對稱分為兩半,直角轉向兩側分別進入兩側相同的轉子定子葉柵中,由兩側氣流匯集于共同的出口。這兩種形式的泵又稱單端泵和雙端泵。這兩種泵市場上均有出售。臥式渦輪分子泵臥式渦輪分子泵特點是其轉子主軸水平布置。這種結構的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側,見圖1。1.動片2.定片3.進氣口4.軸5.軸承6.排氣口圖1:臥式渦輪分子泵結構示意圖臥式渦輪分子泵的特點是抽氣時轉子受力均勻,軸承定位、受力狀態好,使用壽命長,且軸承更換過程中,轉子位置不動,維修方便。立式渦輪分子泵立式渦輪分子泵結構如圖2所示。圖2:立式渦輪分子泵結構示意圖立式渦輪分子泵的轉子軸垂直安裝,只有一組抽氣組合葉列。轉子葉輪高速旋轉時,被抽氣體沿著轉子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮,被驅向前級,由前級泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動機等組成。現代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大,通常在lmm左右,因此泵工作時很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡單,所以立式泵發展很快。軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個條件,才能滿足泵的工作要求:a.高速下具備良好的潤滑性能;b.飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓;c.粘度適當,使之兼有軸承冷卻液的作用。