真空泵 分子泵 離子泵
時間:2014-09-08
分子泵和離子泵都屬于真空泵。
分子泵和離子泵都屬于真空泵。分子泵和離子泵屬于不同原理的兩種泵,兩種泵的最大區別就是真空度的不同,一般用分子泵來實現高真空,用離子泵來實現超高真空。
換句話說分子泵可以作為離子泵的前級。三級串聯使用。