?冷凝泵相對其他泵閥來說應該是比較復雜的,長沙中聯泵業的專家為大家詳細講解一下些冷凝泵的技術知識和保養方式,希望對各位有幫助。
1.冷凝泵的再生 1.1再生時間 ①根據運轉周期,定期進行再生。 ②制冷能力降低時(溫度達不到20K以下;真空度差),進行再生。 1.2再生種類 ①通常再生:3~8h。 ②急速再生:當泵內含有毒性、腐蝕性、可燃性氣體以及大量的O2水時,泵停止后,進行短時間再生。 1.3急速再生的實施 ①關閉高閥,將加熱N2或室溫N2氣由PurgeGas口導入泵腔,被稀釋的毒性氣體就會通過排氣閥放出。這時,冷板的溫度若達不到77K以上,泵室的壓力就上不去,氣體也就無法釋放出來,而又會被凝縮在冷頭上。 用N2進行沖洗時,最好采用專用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時,由于易產生真空泄露,所以,有必要對安全閥進行清洗。 ②用加熱毯進行加熱。但要注意加熱時,溫度不能超過70℃。否則,會損壞冷凝泵。 2.冷凝泵的點檢 ①冷凍機運行是否平穩。 ②馬達旋轉是否為順時針方向。 ③溫度、真空度是否正常。 ④泵體外側是否有冷凝水存在,否則,需進行再生。 ⑤H2蒸汽壓溫度計在室溫狀態(即暴露在大氣中)的值是否在4.7~5.7K間。否則,溫度計可能有問題。 3.壓縮機點檢 ①He氣壓、水流量、水溫、油位是否正常。 ②壓縮機運轉是否正常。 4.故障查找 4.1真空不良可能產生的原因。 ①真空安全閥泄露。 ②冷板安裝不正確、劣化、再生不良。 ③前級泵抽氣時間過長,使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。 ④制冷溫度達不到20K以下:a1冷凍機制冷能力劣化;b1壓縮機壓縮能力降低(很少發生);c1He氣壓力過低;d1He氣充填壓力過高。 ⑤若仍然不行,則可能是冷凍機的相位角有偏差。這時,需按照以下步驟重新進行調整(參照圖4):a1首先,使活塞連桿處于頂部死區ê的位置(偏心輪最高點);b1然后,把偏心輪逆時針方向旋轉30°(é的位置),使低壓閥閉合,高壓閥處于閉合/開啟臨界狀態。此時,臂式閥桿處于懸空狀態,即,沒有接觸閥芯。用手伸進視鏡窗孔中轉動二個大軸承,應感到很輕;c1若仍然感到很重,則可擰掉二側的堵頭,通過調整臂式閥桿的調整螺釘來加以修正。使低壓閥閉合,高壓閥處于閉合?開啟臨界狀態(靠近高壓管的一側為高壓閥。即,第二個臂桿)。 4.2低溫泵動作不良可能產生的原因, ①馬達沒有運轉(溫度仍為室溫)。a1由壓縮機來的電源無電;b1機械性能不良(曲軸歪曲或折短、軸承損壞),尤其是老型號的泵;c1雜質進入馬達內,卡住馬達;d1水分進入膨脹室,使活塞桿膨脹卡住;e1外加加熱器急速再生溫度超過70℃,使活塞桿膨脹卡住(當然,溫度恢復正常后,故障也會隨之消失)。 ②馬達運轉異常。a1由壓縮機來的電源電壓不穩;b1水進入泵內(幾分鐘就會出現聲音異常);處理:分解冷凝泵;c1空氣進入泵內(溫度達到20K時才會出現聲音異常);處理:用He氣置換。注:置換前,應先切斷電源,再斷開高壓管(對一臺壓縮機帶多臺冷凝泵而言)。在冷凝泵恢復常溫過程中,要注意壓力變化,若壓力超過250Pa,就要降壓,使它一直保持在250Pa,但不能太低。d1機械性能不良(冷凍機壽命已到)。 ③He泄漏可能產生的原因:a1自密封接頭密封不好(最常見),可用Snoop液體檢漏;b1壓縮機、連接軟管、冷凝泵有泄漏。 檢查方法: a1確認整個系統漏氣量,比如,每小時、每天漏率。然后再將壓縮機與冷凝泵分開,先看壓縮機泄漏是多少,然后與整個系統漏率相比,確認是哪部分漏;b1用水泡法或Snoop液體檢查軟管是否漏氣;c1若前二項檢查沒有問題,則是冷凝泵泄漏。 5.冷凝泵的交換 ①首先,使泵恢復常溫。 ②排出毒氣,在前級泵抽的過程中用N2氣沖洗。 ③在冷凝泵與大氣連通后,斷開壓縮機與冷凝泵連接的電、氣接頭。 注:a1記住He高、低壓管的相互位置。b1在壓縮機運轉情況下換泵時,要先斷高壓后斷低壓。否則,高壓不能迅速釋放,馬達電源會自動切斷,并使真空安全閥打開。 ④拆、換泵。 注:在有R1F電源的設備中使用的冷凝泵中,其接口法蘭中的密封圈一般不使用真空脂。否則,易打火燒焦密封圈,引起漏氣。 ⑤重新連接冷凝泵的電、氣接頭。 注:a1先連低壓側接頭,再連高壓側接頭。b1盡量不要拆掉壓縮機一側的軟管接頭。以避免高、低壓管混用,使沉積在低壓管中的雜質通過高壓接頭跑到冷凍機中(因為,低壓管是整個大循環中的最后一環,雜質容易沉積于此處)。c1不能把壓縮機出來的高壓?進氣接頭錯接在冷凝泵的低壓?出氣接頭中。否則,不制冷。甚至,會損壞冷凝泵。 6.壓縮機活性碳吸附器的交換 應定時更換,且換后要注意檢查He氣壓,并及時進行檢漏。 7.充He氣(純度:99.999;壓力:18kg/cm2) 充He氣時,手拿的He管應做自沖洗(一堵一放的反復5次)。并且,在擰接頭時,不能一下子擰緊,應先慢慢擰,以徹底清除接頭內的空氣。 注:若壓縮機He氣有泄漏,則應先對壓縮機抽真空(用2.5L?s真空泵)后,再充He氣。